高純度特殊氣體供應銷售服務
高純度特殊氣體供應客戶服務,所有氣體需求相關的設備,包括氣體供給設備與精製設備到除害設備,配管測試工程管理服務,皆可依據客戶的需求條件來提供。
  說明
 
氣體名稱 化學式 規格(%) 產地
二矽乙烷 Si2H6 99.998% 日本
三氟化氮 NF3 99.99% 日本
二氯矽烷 Sih2cl2 (DCS) 99.8% 日本
三氯化硼 BCl3 99.999% 日本